OHT天车与AMR搬运机器人协作应用 - AGV机器人 - 产品分类 -移动机器人 -新战略机器人网-工业、服务、AGV机器人产业资讯传播者
您所在的位置:首页 >> AGV机器人 >>正文
分享34K

OHT天车与AMR搬运机器人协作应用

发布时间: 2021-12-03 04:12:13 来源:捷螺系统

核心提示: 捷螺系统专攻半导体晶圆搬运机器人,配合FAB厂OHT协作,即空中OHT搭配地面AMR,更加全面实现全厂物料自动搬运, 综合性价比也相对较高。

晶圆厂是使用自动化材料处理系统(AMHS)的自动化工厂。广泛使用高架式芯片运输车(OHT)系统将8/12" wafer box (open cassette/FOUP)从一组设备运送到另一组。

AMHS的搬送一般分为Interbay和Intrabay,OHS负责Interbay,作为工序区间搬送系统;而OHT+AMR 负责Intrabay,目前不仅应用于工序区内部运输,也应用于工序区间或工厂间运输。

要实现全厂OHT覆盖,AMHS系统的成本会非常高,(简单估算下来,一条8英寸的AMHS大概在10M$,而12英寸的AMHS大概在30M$左右。)在当前中国大陆的FAB厂中,使用OHT的FAB厂屈指可数。这也对厂内IE规划也是个极大的考验。

为此,捷螺系统专攻半导体晶圆搬运机器人,配合FAB厂OHT协作,即空中OHT搭配地面AMR,更加全面实现全厂物料自动搬运, 综合性价比也相对较高。目前,Gyrobot已与多家OHT厂家(Muratec、Mirle等),实现FAB车间对接协作,为半导体工厂自动化生产提升更高效率。

OHT天车负责空中轨道高速传输作业,地面上由AMR来实现高弹性效率作业,实现由STOCKER、OHT、AMR、EQ间 无死角无盲区对接 ,真正实现FAB车间无人化自动生产。

【免责声明】所刊原创内容之本文仅代表作者本人观点,与新战略机器人网无关。新战略机器人网站对文中陈述、观点判断保持中立。本网转载自其它媒体的信息,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。

【版权声明】凡本网注明“来源:xzl机器人”的所有作品,著作权属于新战略机器人网站所有,未经本站之同意或授权,任何人不得以任何形式重制、转载、散布、引用、变更、播送或出版该内容之全部或局部,亦不得有其他任何违反本站著作权之行为。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。转载、散布、引用须注明原文来源。

分享到:

关闭对联广告
顶部微信二维码微博二维码
底部
扫描微信二维码关注我为好友
扫描微博二维码关注我为好友